超精密定位技术是 精密机械与精密仪器中的关键技术，无论大行程的精密定位，还是 小范围内的对准，都离不开精密定位技术，超精密定位系统包括超精密位移机构、检测装置与控制系统3部分。超精密位移机构使工作台产生运动，检测装置进行运动信息的采集和反馈，控制器通过反馈信息与目标信息进行比较产生控制信号，控制超精密位移机构的运动。三维超精密定位系统与一维定位控制系统相同，由驱动机构、执行机构、测量传感机构和控制系统组成，三维系统的执行机构和传感机构可以通过使用一维直线定位系统进行3个方向的叠加而成，或通过-藕合结构来实现，也就是 说三维定位系统中会出现3套或多套执行机构和传感机构，如何控制他们 共同工作达到精确定位，实现3轴联动是 该系统的一个主要问题。因此，在选择系统的位移执行机构、传感机构时完全可以参考现在已有的纳米级二维工作台和直线定位系统所采用的方案，而控制方法和控制器的选择则要考虑 选择适合控制多被控对象的复杂系统并能实现高精度控制的方案。
传统的“旋转电机+滚珠丝杠”驱动方式，从电机主轴到工作台之间存在许多中间环节，如联轴器、丝杠、螺母、轴承等。这些中间环节，不仅加大系统的转动惯量，影响系统运动特性，而且会产生摩擦、弹性变形、滞后和非 线性误差，影响加工精度。
直线驱动元件能够实现“直接驱动零传动”更适合应用于超精密定位系统。直线驱动系统消除了动力源和工作台之间的所有中间传动环节。目前应用的超精密直线精密驱动元件主要有：直线电机、音圈电机、压电陶瓷驱动器和超声波电机。其中直线电机和音圈电机都是 通过电磁原理将电力转化为直线运动；压电陶瓷驱动器则是 利用原料的物理特性，实现直线推力输出；超声波电机利用压电陶瓷条的高频振动特性，利用干摩擦将微小振幅转化为连续输出，可以提供无行程-的的连续直线位移输出，前2者的运动驱动力远大于后2种 压电陶瓷驱动器。
从驱动技术的研究和应用程度来看，直线电机和压电陶瓷的运动学分析、控制技术都比较成熟，应用于超精密机床或者定位平台的研究也较深入，国内外许多家企业都有相关的产品出售，并达到较高精度。超声波电机在国内尚处于起步研究阶段，但在国外已经出现产品，并逐渐应用于大行程高精度系统之中。因为依靠摩擦力驱动，系统动态因素复杂，能够实现其长时间稳定输出控制的方案尚在研究中。
综合以上的3个方面来看，采用直线电机和压电陶瓷的直线驱动方案，技术相对成熟，可以尽量简化开发过程。目前国内外许多大行程超精密的定位系统都是 采用这2种 驱动方式协同合作而实现的。但随着研究的深入，技术的革新，音圈电机和超声波电机拥有更好的应用前景。
铸铁平板日常养护
1、为了防止 铸铁平板发生的变形，在吊装铸铁平板时，要用四根同样长度的钢丝绳同时挂住铸铁平板上得四个起重孔，将铸铁平板平稳吊装在运输工具上。
2、将铸铁平板支承点垫好、垫平，保证每个支撑点受力均匀，保证整个铸铁平板平稳。
3、铸铁平板安装时将铸铁平板的各个支撑点用调整垫铁垫好、垫实，由专业技术人员将铸铁平板调整至合格精度。
4、铸铁平板使用时要轻拿轻放工件，不要在铸铁平板上挪动比较粗糙的工件，以免对铸铁平板工作面造成磕碰、划伤等损坏。
5、为了防止铸铁平板整体变形，使用完毕后，要将工件从铸铁平板上拿下来，避免工件长时间对铸铁平板重压造成铸铁平板的变形。
6、铸铁平板不用时要及时将工作面洗净，然后涂上一层防锈油，并用防锈纸盖上，用铸铁平板的外包装将铸铁平板盖好，以防止平时不注意造成对铸铁平板工作面的损伤。
7、铸铁平板应安装在通风、干燥的环境中，并远离热源、有腐蚀的气体、有腐蚀的液体。
8、铸铁平板按标准实行定期周检，检定周期根据具体情况可为6-12个月。包装：铁板包装和木制包装两种 形式，平台表表用塑料膜封装，这种 包装适于平板内陆运输，并有良好的防潮、防震、防锈和防野蛮装卸等保护平板的措施，以确保运抵现场。
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