等离子光氧一体机是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
等离子光氧一体机降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
使用等离子处理有机废气的工作原理：高频放电所产生的瞬间高能足够打开些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；等离子体中包含大量的高能电子，正负离子，激发态粒子和具有强氧化性的自由基，它些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发状态。
等离子光氧催化一体机利用特制的高能UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯等的分子键。Uv光氧催化除臭设备利用高能紫外光分解空气中的氧分子产生游离氧(即活性氧)，因游离氧所携正负电子不平衡，所以需要与氧分子结合，进而产生臭氧，使呈游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成低分子无害或低害的化合物。
利用特制的催化剂进行氧化还原反应，运用高能UV紫外线光束、臭氧及催化剂对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质降解转化成低分子无害或低害的化合物、水和二氧化碳，彻底达到除臭及杀灭有害细菌的目的。
等离子光氧一体机的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
低温等离子废气净化设备安装时注意哪些问题？
1、工作时，应戴好劳动防护用品，固废装袋时，应注意安全。
2、停止工作时，必须关闭各控制电机开关和总电源开关，废水应按规定程序处理，仪表值应按规范设定。
3、强腐蚀性化学用品应分开保管，并做好领发手续；系统在运行过程中，发现问题及时排除故障，恢复正常运行。
4、认真做好设备维修保养工作，特别注意水泵、抽风机的运行，避免设备事故。
当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子构成得无害气体分子。同时产生的大量OH、HO2、O等活性基和气化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，最终生成CO2和H2O等无害产物。
光氧催化一体机处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
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