三坐标测量机的测量精度可达到微米级，现代的超精加工，微米级的测量满足不了要求，科学研究已经测量的精度提高到了纳米级，测量的准确度一般的测量不确定度小于制造公差的三分之一到五分之一。目前三坐标测量机的测量精度远远低于钻石切削或者-超精加工机床，只能在超精加工之后，在原机床上将刀具换成测头进行再次检测。但是 这样操作，有很多误差是 不容易被发现，也就是 说三坐标测量机还需要进一步改进，才能适应以后科学发展的需求。
1、提高三坐标测量机的测量精度。首 先要提高标尺的精度，随着半导体激光器的发展，激光干涉标尺在测量中得到了广泛的应用。三坐标测量机这种标尺更具特点，在激光干涉标尺时，不让激光产生的热影响三坐标测量机的精度。要注意折射率的补偿，最 理想的光的传播是 让光速丛真空中通过，但是 很多国家都在进行这方面的研究，目前还没有成功的例子。主要原因是 密闭光路内移动，虽然光路内部是 真空，但是 外部确是 大气，当外部大气压变化时，就会使得滑座产生变形，因此而产生测量的误差。提高三坐标测量机的测量精度，还可以从结构入手，从测量机的测头、主机、分度台、 花岗石平台及附件的精度入手。同时，减少环境因素所带来的影响也可以避免杂力变形和热变形，所以不单是 从结构来采取措施，环境方面也要考虑 。2、提高三坐标测量机的工作效率。现在工业生产的节奏不断加快，不但需要保证测量的精 准度，还要有很高的效率。如何提高三坐标测量机的效率。一是 改进测量机的结构，主要是 减轻运动部件的质量，采用杨氏模数之比低和密度低的材料。陶瓷、铝、人工合成材料在测量机中得到很多的应用。二是 提高三坐标测量机的系统操作性，在三坐标测量机高速的运动下，要保持运动平稳，不产生振荡。三是 采用扫描测试方式进行测量，这就要求测头与工件的接触速度不能太大，这也给探测速度带来了很大的-。点位测试方式没有扫描测试方式的效率高，但是 仍受到触测的-。采用非 接触测头在测量机连续运动过程中测量，可以频繁加速、碰撞、减速等，可以提高效率。四是 提高软件的运行速度，软件运行速度不是 -三坐标测量机的主要因素，但是 对三坐标测量机在高速运动时有很大的影响，所以为了不影响测量机效率，必须要提高三坐标测量机的软件运行速度。
3、三坐标测量机技术的完善。三坐标测量机技术主要是 探测技术，探测技术就是 只要测头能探及，三坐标测量机就能够测试到。探测的速度直接影响三坐标测量机的测量效率。为了完善三坐标测量机技术，也要发展各种附件。三坐标测量机的探测技术发展一个重要的趋势就是 非 接触测头的应用。非 接触测头允许高的探测速度，用摄像头形成等高线来进行测量，非 接触测头对柔软的、划伤的、易变形的工件进行测量。它可以形成很小的光斑对接触端不易伸入的部位进行测量，在很多情况下它的测量都很重要。非 接触测头具有很多优点，自聚焦，反射度强等。但是 非 接触测头也存在着问题。在测头开发中的问题是 轮廓边缘的定义，不同照明下测得的边缘位置不相同，它的主要影响来自工件表面，这就要求机械轮廓边缘与光学轮廓边缘一致。
三坐标测量机的技术的完善还包括不同类型的测头同时使用，或者不同类型的测头交替使用，也是 完善三坐标测量机的技术的发展方向，因为工件上不同的元素就需要不同形式的测头，先对元素进行定位，再对元素进行探测，用接触测头去探测，这种方式也用于自动生成测量路径。
为了增加三坐标测量机的技术，将软件和硬件相结合，配置一维或二维分度台，使得三坐标测量机变成四坐标或者五坐标测量机。精密回转台还使三坐标测量机更具测量功能。
二、三坐标测量机的现状研究
从世界上第 一台测量机在一九五九年由英国制造，到现在20巧年，已经有56年的历史了。国内外对三坐标测量机的应用已经相当的普遍。并且三坐标测量机正在迅速的发展，目前世界上生产测量机的厂商超过五十家，品种达到三百种以上。国外的三坐标测量机生产厂较多，像德国、意大利、美国、日本等国家都有很多生产厂家。国外的机器有自己的特点，大多数的机器空间敞开性好，总体布局为悬臂式，便于安装。同时国外的机器开发能力强，能够满足不同用户的特殊需求。国外的机器大多数用合金材质、移动件质量尽可能小，做到低惯性和高钢性。三坐标测量机的不断发展的同时，形成了自己的标准化，系统化的东西，同时，稳定性和可靠性得到了提高，机器本身的寿命也更长了。
我国三坐标测量机近些年来的发展也是 非 常迅猛的，虽然同国外相比较还有一定的差距，主要是 原材料配套难，机器的加工周期长，稳定性差，故障频繁等原因。这就需要不断的改进机器和进一步的开发研究。
三、三坐标测量机未来的发展趋势
随着科学技术的不断发展，三坐标测量机也在不断的提出更新，更高的要求。根据国内外三坐标测量机的发展速度和发展情况来看，在今后的一段时期，三坐标测量机的主要发展趋势包括以下几个方面：一是 高速测量的普及，通过测量技术的不断的发展，但为了保证测量精度，测量速度要保持平稳，随着生产速度不断加快，更需要测量机保证测量精度。二是 对三坐标测量机的结构设计进行改进，主要是 机器材料的改变，通过使用轻质材料来降低运动所带来的惯性，空心材质和人工合成材质在测量机中获得广泛应用。三是 新技术的应用，为了保证机器的可靠性和稳定性，国外十分重视机器原材料的选用，三坐标测量机制造厂商采用重量轻，钢性好的合金材料，来制造测量机上的运动结构部件，陶瓷和铝合金材料在三坐标测量机中得到了广泛的应用。
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