在真空腔体内,水汽分子是最典型的环境污染气体,占腔内残余气体 65% 到 95% ,当真空度达到 10-2Pa时,水汽分子用平常真空泵难排出腔体,是典型的最具副作用的污染气体,是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响.为了快速的达到较高的真空度,COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽,辅助抽真空,在极短的时间达到需求的真空度

COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理将一个冷阱盘管或挡板,放置在真空室内的腔壁上或油扩散泵的泵口,通过制冷盘管表面,实现低温冷凝效应,迅速捕集集真空泵统的水汽分子或其它残余气体分子,从而获得洁净的真空环境,提高产品的产量和质量,改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力.

COOL系列水汽深冷捕集泵有单级和双级的配置,双级制冷可单独控制每一路的制冷,两路冷阱盘管或挡板都能被快速除霜.