随着半导体集成电路生产规模扩大和技术升级,喷涂废气处理设备其在各行业发挥着越来越重要的作用。近几年,半导体工业迅猛发展,合资、独资建成投产十几条生产线。由于在集成电路生产过程要求在高洁净度厂房进行,但生产工艺中需要使用有机和无机化学药品,所以,通风排气对于生产十分重要。我国半导体工业起步较晚,所以相应的废气净化技术比较落后,一般在引进生产线的同时引进废气净化设施,投资及运行成本很高,如何消化吸收国外先进的废气净化工艺,选择合适的工艺保证稳定生产和达标,对于新建和改扩建废气处理系统非常重要。
汽车涂装是油漆消耗的大户,由于成本和技术的-,我国汽车涂装大部分使用电泳底漆+有机溶剂型漆。VOC有机废气处理以生产一辆小型轿车为例,消耗阴极电泳底漆10kg以上,有机溶剂型油漆(中涂、面漆、罩光漆等)5kg以上,商用车如卡车、客车等用量更大。电泳底漆烘干过程中产生大量具有刺激性恶臭气味的油烟、有机溶剂型油漆喷漆及烘干过程中挥发的溶剂均为有机成分。在汽车涂装过程中,除少量漆膜(占油漆总重量的40%以下)附着在车身表面外,其它有机成分均挥发于空气中形成有机废气。以年产800万辆汽车,车均用漆15kg,固化后成分占喷漆总量40%计算,每年有机成分排放量为7.2万t,汽车涂装有扫L废气的排放己经成为一个突出的环境问题。
喷涂废气处理设备有机废气对环境的危害甚大。人如果长期吸入低浓度的有机废气会引发咳嗽、胸闷、气喘甚至肺气肿等慢性呼吸道疾病,油漆溶剂中的甲醛、苯类化合物等成分是目前公认的强烈致癌物。除此之外,有机废气对光化学烟雾、酸雨的形成起着非常重要的作用。由于有机废气的危害性,我国对有机废气的排放一直有着严格的控制,现行标准为1997年1月1日实施的GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》(以下简称《标准》)。
UV光氧催化设备一般是通过将有机废气中的有机成分和空气中的氧气反应发生分解,一些低毒的化合物(如卤代烃和氧气反应后可以产后卤酸)。常温下废气中的有机成分和氧气小反应,在废气处理设备的高温、催化等条件下,废气中的有机成分发生分解从而使废气得到净化。
半导体生产可分为扩散工序和组装两大工序也称前工序和后工序。UV光氧催化设备在前工序的有机剥离、涂布、光刻等工艺环节产生大量的有机废气,为了使污染物达到国家排放标准,一期工程引进了日本生产的两台有机废气处理塔及配套的废液焚烧炉,使用过程中发现设备运行成本高。在扩建工程中,经过对各种有机废气处理方法及设备工作的原理分析,动力消耗、处理成本比较,选择了北京中航银燕环保技术发展中心制造的固定床式活性炭有机废气处理塔,节省投资160万元人民币,一年的使用和废气排放监测证明,VOC有机废气处理设备运行稳定,处理效果达到国家排放标准,并且节约了运行费用30万元,经济效益显著,同时为今后扩建废气处理工程积累了宝贵经验。
泊头市康柏环保设备有限公司(http://www.chuchen777.com)VOC有机废气处理,喷涂废气处理设备,双吸臂焊烟机,焊烟净化器集研发设计、制造、安装、调试布袋除尘器等一系列除尘设备及售后服务于一体的公司,是目前国内高档次、高质量、高性能环保产品的技术开发和生产基地。
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