该化学气相沉积炉(碳化硅)可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。
技术特征
可根据客户需求设计尺寸,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;
采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
采用最新设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低。
主要配置
炉门:手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统:体积/质量流量计/手动阀/自动阀/进口/国产
真空泵和真空计:进口/国产
PLC:欧姆龙/西门子
控温仪表:日本岛电/英国欧陆
热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机
电器元件:正泰/施耐德/西门子
料车:滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车
顶立科技卧式化学气相沉积炉SIC,表面抗氧化涂层、基体改性是湖南顶立科技有限公司的主要产品,我们的产品负责人是羊桥,我们的地址是湖南省长沙暮云经济开发区顶立科技园,期待与您的合作!