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目前应用较广泛的有机废气净化工艺有活性炭吸附法、热破坏法、生物膜法等。
1、吸附法
吸附法是利用活性炭对有机成分的吸附作用，使有害成分从气体中分离出来。UV光氧催化设备在处理有机废气的方法中，吸附法应用极为广泛，与-方法相比具有去除效率高、净化彻底、能耗低、工艺成熟等优点；缺点主要是当废气中有胶粒物质或其它杂质时，吸附剂容易失效。吸附法主要适用于低浓度的有机废气净化。决定吸附法处理效率的关键是吸附剂。对吸附剂的要求一般是具有密集的细孔结构，内表面大，吸附性能好，化学性质稳定，耐酸碱、耐水、耐高温高压，对空气阻力小等特点，常用的吸附剂有活性炭、活性氧化铝、人工氟石、炉灰渣等。在目前应用的吸附剂中活性炭性能最好，应用最广泛。
活性炭又分颗粒状和纤维状两类，相比较而言，颗粒状活性炭气孔均匀，除小孔外，还有0.5一5μm的大孔，比表面积一般为600一1600㎡/g，被处理气体要从外向内扩散，通过距离较长，所以吸附解吸均较慢，VOC有机废气处理经过氧化处理过的颗粒状活性炭具有更强的亲和力，一般用于固定床式活性炭吸附法。而纤维状活性炭气孔均较小，比表面积大，它是靠分子间相互引力发生吸附，相互不发生化学反应，是物理吸附过程，小孔直接开口向外，气体扩散距离短，吸附解吸均较快，一般用于吸附浓缩法。固定床式活性炭吸附法适用于排放的有机废气浓度为0~0.1mg/m³，风量为0~48000m³/h的工程；吸附浓缩法适用于有机废气浓度为0一0.6mg/m³，风量为0-600000m³/h的工程。
2、热破坏法
热破坏法是目前工艺设备比较成熟、应用比较广泛的一种方法。有机化合物的热破坏是十分复杂的，包含一系列高分子分解、聚合及自由基反应，最重要的有机化合物破坏机理是氧化和热分解。热破坏法可分为直接火焰燃烧法、催化燃烧法和蓄热式直接火焰燃烧法等。
直接火焰燃烧法是一种有机物在气流中直接燃烧和辅助燃料燃烧的方法。喷涂废气处理设备在多数情况下，有机物浓度较低，不足以在没有辅助燃料时燃烧。直接火焰燃烧和催化燃烧法适用于有机废气浓度为0.1一1.4mg/m³，发热值3345kJ/m³，风量在0-33000m³/h的工程。对于高浓度的有机废气处理，在适当温度和停留时间条件下，可达到95%以上的处理效率。
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